【真空等離子設備】等離子體可促使有機及無機化合物進行各種反應。
①由氫化合物、 揮發性鹵化合物、 氟碳化合物、氟氮化合物生成相應的高分子化合物。如由SiH4、B5H9分別制成Si2H6或Si3H8及B10H16；由SiCl4、GeCl4、BCl3分別合成為、Ge2Cl6、B2Cl4；由CF4生成C2F4、C2F6、C3F6、C3F8,合成NF2、NF3、N2F2、N2F4等。
② 通過分子異構化，得到不同分子結構。 如 CH3·CH2·CH2·Cl成為CH3·CHCl·CH3;2萘基甲醚成為1甲基-2萘酚。
③將原子或小分子從原分子中脫除出來。由這過程可得到多種環產物或雜環結構。
④【等離子Plasma】雙分子反應。如用苯組成聯苯或聯三苯。醚可以組成多種飽和烴及未飽和烴。
等離子體聚合反應
在適合的條件下，差不多所有有機化合物都能通過等離子體進行聚合。一般用光化學或自由基引發的氣相聚合只限于乙烯基的有機化合物。
除非單體分子含有“極化團”，也只能得到低分子量的聚合物，如苯乙烯、丙烯腈、甲異丙醇酮等在氣相中都不能聚合,除非它們先經過光敏化。
