【真空等離子設(shè)備】等離子體發(fā)生器的分類(lèi)：
1 高頻感應(yīng)等離子體發(fā)生器 又稱(chēng)高頻等離子體炬，或稱(chēng)射頻等離子體炬。它利用無(wú)電極的感應(yīng)耦合，把高頻電源的能量輸入到連續(xù)的氣流中進(jìn)行高頻放電。
2 電弧等離子體發(fā)生器 又稱(chēng)電弧等離子體炬，或稱(chēng)等離子體噴槍?zhuān)袝r(shí)也稱(chēng)電弧加熱器。它是一種能夠產(chǎn)生定向“低溫”（約 2000～20000開(kāi)）等離子體射流的放電裝置。【等離子處理機(jī)】
3 低氣壓等離子體發(fā)生器 一種低氣壓氣體放電裝置，一般由三部分組成：產(chǎn)生等離子體的電源、放電室、抽真空系統(tǒng)和工作氣（或反應(yīng)氣）供給系統(tǒng)。
