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奧坤鑫:等離子清洗機(jī)的清洗作用、效果
2016.05.30
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  等離子清洗機(jī)的清洗作用、效果:
 
  等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的獨(dú)特現(xiàn)象和物質(zhì)。
 
  典型等離子是由電子、離子、自由基和質(zhì)子組成。就像把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣, 產(chǎn)生離子體也需要能量。
 
  等離子體能夠?qū)щ姡c電磁力起反應(yīng)。
 
  【奧坤鑫 OKSUN】小型等離子清洗刻蝕機(jī)中產(chǎn)生等離子體的裝置, 是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)的,然后實(shí)現(xiàn)一定的真空度, 隨著氣體愈來(lái)愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng),在電場(chǎng)作用下,發(fā)生碰撞而形成等離子體,產(chǎn)生輝光放電。
 
  輝光放電時(shí)的氣壓大小、放電功率、氣體成分及流動(dòng)速度和材料類(lèi)型等對(duì)材料刻蝕效果有很大影響。
 
  由于等離子體產(chǎn)生的輝光放電是真空紫外光,其對(duì)蝕刻率有十分積極的影響,氣體中包含中性粒子、離子和電子。【等離子噴槍
 
  中性粒子和離子溫度102K-103K’,電子能量對(duì)應(yīng)的溫度高達(dá)105K,被稱(chēng)為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”,表現(xiàn)為電中性(準(zhǔn)中性);氣體所產(chǎn)生的自由基和離子活性很高,其能量幾乎足以破壞所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)。
 
  等離子體中粒子的能量一般為幾個(gè)至幾十電子伏特,大于聚合物材料的結(jié)合鍵能(幾個(gè)至十幾電子伏特),完全可以破裂有機(jī)大分子的化學(xué)鍵而形成新鍵,但遠(yuǎn)低于高能放射性射線(xiàn),只涉及材料表面,不影響基體的性能。【卷對(duì)卷等離子處理設(shè)備

 
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